電子全站儀是一種同時可以進行角度（水平角，垂直角）測量和距離（斜距，平距，高差）測量，由機械，光學(xué)，電子元件組合而成的測量儀器·只要一次安置，儀器便可以完成在該測站上所有的測量工作，故稱為"全站儀"。
電子全站儀是全站型電子速測儀的簡稱，是電子經(jīng)緯儀、光電測距儀及微處理器相結(jié)合的光電儀器。世界上全站儀的品牌主要有徠卡、拓普康、尼康、南方、索佳等。
電子全站儀是人們在角度測量自動化的過程中應(yīng)運而生的，各類電子經(jīng)緯儀在各種測繪作業(yè)中起著巨大的作用。
電子全站儀的發(fā)展經(jīng)歷了從組合式即光電測距儀與光學(xué)經(jīng)緯儀組合，或光電測距儀與電子經(jīng)緯儀組合，到整體式即將光電測距儀的光波發(fā)射接收系統(tǒng)的光軸和經(jīng)緯儀的視準軸組合為同軸的整體式全站儀等幾個階段。
初速測儀的距離測量是通過光學(xué)方法來實現(xiàn)的，我們稱這種速測儀為“光學(xué)速測儀"。實際上，“光學(xué)速測儀"就是指帶有視距絲的經(jīng)緯儀，被測點的平面位置由方向測量及光學(xué)視距來確定，而高程則是用三角測量方法來確定的。
帶有“視距絲"的光學(xué)速測儀，由于其快速、簡易，而在短距離（100米以內(nèi)）、低精度 （1/200、1/500）的測量中，如碎部點測定中，有其優(yōu)勢，得到了廣泛的應(yīng)用。
隨著電子測距技術(shù)的出現(xiàn)，大大地推動了速測儀的發(fā)展。用電磁波測距儀代替光學(xué)視距經(jīng)緯儀，使得測程更大、測量時間更短、精度更高。人們將距離由電磁波測距儀測定的速測儀籠統(tǒng)地稱之為“電子速測儀"（Electronic Tachymeter）。然而，隨著電子測角技術(shù)的出現(xiàn)。這一“電子速測儀"的概念又相應(yīng)地發(fā)生了變化，根據(jù)測角方法的不同分為半站型電子速測儀和全站型電子速測儀。半站型電子速測儀是指用光學(xué)方法測角的電子速測儀，也有稱之為“測距經(jīng)緯儀"。這種速測儀出現(xiàn)較早，并且進行了不斷的改進，可將光學(xué)角度讀數(shù)通過鍵盤輸入到測距儀，對斜距進行化算，后得出平距、高差、方向角和坐標差，這些結(jié)果都可自動地傳輸?shù)酵獠看鎯ζ髦?。全站型電子速測儀則是由電子測角、電子測距、電子計算和數(shù)據(jù)存儲單元等組成的三維坐標測量系統(tǒng)，測量結(jié)果能自動顯示，并能與外圍設(shè)備交換信息的多功能測量儀器。由于全站型電子速測儀較完善地實現(xiàn)了測量和處理過程的電子化和一體化，所以人們也通常稱之為全站型電子速測儀或簡稱全站儀。
20世紀八十年代末，人們根據(jù)電子測角系統(tǒng)和電子測距系統(tǒng)的發(fā)展不平衡，將全站儀分成兩大類，即積木式和整體式。
20世紀九十年代以來，基本上都發(fā)展為整體式全站儀。